去離子水的處理步驟：

　　從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
 　　1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質
 　　2、然后高壓通過反滲透膜
　　 3、*后一般還要經過一步紫外**以去除水中的微生物
 　　4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程*高電阻率可達到18兆。 　　 相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水